等离子体发生器腔体内部放电明暗不一、局部无辉光，会导致工件表面活化、清洗效果差异大，出现批量工艺不良。腔体放电不均多由电极状态、气体流通、真空环境、射频匹配、腔体洁净度异常引发，落实等离子体发生器腔体放电不均整改方案，能够均衡腔内离子轰击效果，稳定产品加工良率。

1、拆解清洁电极，修正放电间隙

电极积碳、腐蚀、安装偏移会造成电场分布失衡，局部放电过强或无辉光。断电冷却后拆卸电极，用乙醇与细砂纸去除碳化氧化层，调整电极平行度与标准放电间隙，紧固固定支架，保证电场均匀释放，消除单点强光放电现象。

2、优化腔体气路布局，均衡气体扩散

进气集中单侧、气流流速失衡会造成腔内气体浓度落差，等离子无法均匀铺开。增设分流气盘、多孔散气装置，调整调压阀稳定进气流量，清理管路过滤器杂质，让工艺气体均匀填充腔体，构建稳定放电介质环境。

3、排查腔体微漏，锁定恒定真空度

腔体密封件老化漏气、真空泵抽速不稳，会使腔体内气压持续波动，破坏等离子均匀度。开展保压测试，更换老化O型密封圈，紧固法兰接头，检修真空泵维持标准真空区间，全程保持统一放电气压条件。

4、重新校准射频匹配网络，稳定输出阻抗

匹配参数偏移、反射功率波动会造成射频输出能量忽强忽弱，腔内辉光分布紊乱。手动调节匹配电容电感降低反射功率，拓宽自动匹配寻优范围，稳定射频输出能量，避免电场强度局部失衡。

5、全面清理腔体内壁，消除局部放电点

腔体壁残留有机油污、金属碎屑会形成异常放电点，割裂等离子区域。采用无尘布配合专用溶剂擦拭腔体四周，清理观察窗、法兰边角沉积物，维持腔体内部洁净，避免杂质干扰等离子均匀扩散。