MEMS质量流量传感器具有体积小、响应快、精度高等优点。它们可以实时监测液体和气体的流量，提供精确的数据支持。这些传感器通过微型化的结构，能够在微反应器的有限空间内进行高效的流量调控和监测，确保反应条件的稳定性。

以下是MEMS质量流量传感器在微反应器中的实战案例：

1、生物制药领域：在基于微流控生物反应器的DNA分析实验中，利用MEMS流速传感器可对微流通道中的液体流速进行实时监测和控制，确保DNA样本在微小通道内按设定的流量和速度传输，实现高通量、高精度的DNA分析实验。

2、精细化工领域：在生产高附加值的精细化工材料的微反应器系统中，横河电机开发的新型MEMS微流量传感器，因其与腐蚀性液体接触的表面采用玻璃材质，传感元件置于非接触区域，可抵抗腐蚀性液体，能精确测量微反应器中流体的质量流量，保障生产过程的精准控制。

3、气体流量控制领域：在生命科学的生物反应器中，微流道MEMS气体流量芯片可用于控制其中的气体流量，保证生物反应器中气体营养物质供应和气体排出物的均衡，为生物培养和研究提供技术支撑。