半导体压力传感器的工作原理基于半导体材料的特性。传感器内部有一个薄膜，薄膜上涂有特殊的材料，当受到外部压力时，薄膜会发生形变。这种形变会改变材料的电阻值，进而改变传感器的输出电信号。通过测量输出电信号的变化，可以间接地获得压力的数值。

　根据工作原理的不同，半导体压力传感器可分为压阻式和压电式两种主要类型。

　1.压阻式半导体压力传感器是最常见的类型。它利用半导体材料的电阻特性来测量压力。当外部压力施加在传感器的薄膜上时，薄膜的形变会引起材料电阻值的变化。通过测量电阻值的变化，可以推算出压力的大小。

　2.压电式半导体压力传感器则是利用压电效应进行测量。压电材料在受到压力时会产生电荷，这种电荷与施加的压力成正比。传感器中的压电材料会转化为电势差，进而转化为电信号。通过测量电信号的变化，可以获得压力的值。

　除了压阻式和压电式，还有其他类型的半导体压力传感器，如电容式、压缩式等。它们在工作原理和结构上有所不同，但都能实现对压力的准确测量。