高精度微分头驱动DIWO1手动位移滑台，分辨率达0.5μm，配备交叉滚柱导轨，重复定位精度±0.002mm。硬质氧化铝合金主体兼具轻量化与高刚性，适用于超精密光学调整、微纳加工定位等亚微米级需求场景，是科研实验与高端制造的理想微位移平台。

一、产品特点

·超微米驱动：0.5μm微分头，支持0.1μm微调（选配）

·零背隙结构：弹性预紧机构消除回程误差

·热稳定设计：低热膨胀材料+隔热底座接口

·全封闭导轨：防尘密封，适合洁净环境

·模块化扩展：支持XYZ多轴串联

二、性能参数

·分辨率：0.5μm（标配），可选0.1μm高精度微分头

·重复精度：±0.002mm（20℃恒温环境）

·最大负载：10kg（水平）/5kg（垂直）

·行程范围：10-25mm（标准款），可定制50mm

·温度敏感性：≤0.05μm/℃（配合恒温底座）

三、核心应用

1.超精密光学元件装调

2.扫描探针显微镜样品定位

3.微电子封装设备对准

4.量子实验装置微位移控制