采用高精度千分尺直接驱动DIU01手动位移滑台，配备精密交叉滚柱导轨，定位精度达±0.003mm，适用于微米级精密调节。主体采用硬质氧化铝合金，轻量化且刚性优异，可选配微分头实现0.5μm分辨率。广泛应用于光学对准、半导体检测、精密装配等需要超高精度定位的领域。

一、产品特点

·千分尺直驱：消除传动背隙，微调分辨率0.01mm（可选0.5μm）

·高刚性结构：整体硬质氧化铝合金，抗变形能力强

·超低摩擦导轨：交叉滚柱设计，运动平稳无晃动

·模块化接口：支持多轴堆叠或旋转台组合

二、性能参数

·重复定位精度：±0.003mm（恒温环境下±0.002mm）

·最大负载：15kg（垂直安装8kg）

·行程范围：10-100mm（标准款），支持定制加长

·温度敏感性：≤0.1μm/℃（配合隔热选件可降至0.05μm/℃）

·千分尺规格：标配25mm行程，可选50mm长行程型号

三、核心应用

·激光干涉仪光路校准

·显微物镜精密对焦系统

·微电子元件装配定位

·计量仪器标准量块调整