超薄型DIF01手动位移滑台
发布时间:2025-06-25 15:17:52点击量:
DIF01手动位移滑台采用高精度交叉滚柱导轨与微分头驱动系统,专为超精密光学及微纳制造领域设计。其零膨胀陶瓷合金基座配合主动温控技术,实现±0.002mm的极端定位精度,热稳定性达±0.1μm/℃。适用于光刻机校准、量子实验等纳米级应用场景,可选真空兼容版本(10⁻⁶Pa)。
核心特点:
(1)亚微米级精度:激光干涉仪校准导轨,分辨率0.0005mm
(2)环境免疫:主动温控+磁悬浮隔振(振动<1nm RMS)
(3)无尘运动:真空镀膜导轨面(出气率<10⁻¹¹Torr·L/s)
(4)智能互联:支持5G实时数据监测(±0.5μm同步精度)
(5)超长寿命:石墨烯润滑层(摩擦系数<0.001)