MEMS气体流量传感器：高精度，检测流量范围广，适用于各种需求的流量计测。MEMS压力传感器：性能偏差小的MEMS压力传感器。MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。

　MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。

　MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

　当发生振动时，传感器处于连续的通、断状态。通过有针对性的缓冲结构设计和更优化的MEMS芯片布局，显著降低了MEMS型光滤波器在在线振动冲击试验中的频率漂移，通常使用在震动报警中，比如汽车防盗、自行车防盗、家庭物品移动报警等。凡是需要移动报警的场合都适用。

　根据滤波器的选频作用可分类：低通滤波器从0到f2频率之间，幅频特性平直，它可以使信号中低于f2的频率成分几乎不受衰减地通过，而高于f2的频率成分受到极大地衰减。高通滤波器与低通滤波相反，从频率f1到∞，其幅频特性平直。它使信号中高于f1的频率成分几乎不受衰减地通过，而低于f1的频率成分将受到极大地衰减。带通滤波器它的通频带在f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分可以不受衰减地通过，而其它成分受到衰减。带阻滤波器与带通滤波相反，阻带在频率f1到f2之间。它使信号中高于f1而低于f2的频率成分受到衰减，其余频率成分的信号几乎不受衰减地通过。