由于微机电系统（MEMS）器件制造的进步，此类传感器已成为具有优异性能/成本比的大众市场产品。TILTIX倾角仪的基本测量组件是嵌入在完全封装的ASIC中的MEMS传感器单元。

　通用规格

　1、传感器循环时间：这是基础传感器的内部循环时间。5ms的循环时间意味着位置值每5ms更新一次。

　2、接口周期时间：这是通过通信接口传输位置值的周期时间。与传感器循环时间（固定值）相比，客户可以在接口级别轻松调整接口循环时间。

　3、绝对精度：绝对精度是在定义的范围内测量位置与实际位置之间的最坏情况偏差。

　4、偏移：当倾角仪位于零位时，输出会出现较小的偏差。这种零电平误差称为偏移误差。

　5、动态精度：该精度的确定方式与绝对精度相同，只是设备受到外部振动和加速度的影响。动态精度是在模拟移动机器移动环境的不同设备上进行实验室测试时确定的。

　所规定的动态精度作为参考值；我们建议在您自己的机器上评估动态行为，因为振动和冲击因机器而异。

　实验室测试使用以下设备进行：

　1、线性加速度：传感器在1秒内沿一个轴以10 m/s²加速

　2、振动：1-1000 Hz之间的不同振动频率，力为1g

　3、解决方案：这是尽可能最小的步骤

　4、滞后：滞后的定义是系统的输出值不仅取决于实际输入，还取决于过去的输入。对于倾斜仪来说，这意味着测量的倾斜角度也取决于过去的位置。无论倾斜仪倾斜0°到10°还是20°到10°，都会有微小的差异。这种差异通过滞后现象来描述。

　5、温度梯度：该值描述了温度变化时测量的倾斜角度的变化。如果倾斜仪处于静止位置，温度降低或升高，输出值也会根据温度梯度而变化。

　6、稳定时间：这是描述系统动态行为的值。稳定时间定义了倾斜计信号到达最终位置并保持在最终位置5%范围内所需的时间。