测量系统的性能取决于所选传感器的静态和动态特性。对于测量量快速变化的运动控制系统，必须考虑测量系统输入和输出之间的动态关系，尤其是在涉及离散采样时。相反，在某些应用中，测量的参数可能变化缓慢；因此在选择过程中只需要考虑静态性能。

　1、准确性

　准确度是衡量传感器输出与输入真实值之间关系的指标。在任何准确度规范中，该值都需要通过说明正在考虑哪些错误以及它们发生的条件的声明来限定。

　2、死区

　死区是传感器无法响应的最大输入变化；这通常是由摩擦、间隙或滞后等机械效应引起的。

　3、漂移

　漂移是传感器输出的变化，它不是由输入的变化引起的；通常，它是由传感器或其调节系统的热效应引起的。

　4、线性度

　线性度是在传感器的有用范围内输入/输出比的一致性的量度。它的输入输出特性应该是线性的，并且应该以对称的方式产生这些特性。

　5、重复性

　可重复性是在给定的一组环境条件下，一组输出值与恒定输入一致的接近程度的度量。当相同的输入信号在温度、压力、湿度等固定环境条件下一次又一次地施加时，它应该再现相同的输出信号。

　6、解析度

　分辨率是传感器可以确定地检测到的输入的最小变化。

　7、灵敏度

　灵敏度是输出变化与输入变化的比值。这有时被称为增益或比例因子。

　8、坚固性

　它应能承受过载，并应提供一些安全装置以提供过载保护。需要清楚地了解应用于测量系统的精度、可重复性和分辨率之间的相互作用。可以拥有具有高或低精度和可重复性的测量系统；与目标位置相比的测量结果如图所示。