电容式传感器可以根据其性能和预期用途分为两类。高分辨率传感器通常用于需要高精度、稳定性和低温漂的位移和位置监测应用。这些传感器经常用于过程监控和闭环反馈控制系统。接近式电容传感器价格便宜得多，通常用于检测零件的存在或用于计数应用。

　应用

　1、位置感应

　一般定位可能是电容传感器最常见的应用。如前所述，电容传感器的输出与到目标的距离成正比。如果探头保持静止，则放大器检测到的任何电容变化都与目标位置直接相关。它们的高线性响应和低输出相移使其非常适合应用于静态和主动反馈定位应用。

　其他典型的位置应用包括：

　·显微镜聚焦

　·镜头对准

　·零件轮廓

　·应力分析

　2、动态测量

　非接触式传感器非常适合测量移动目标，因为它们具有高频响应并且不会通过增加质量来抑制目标运动。典型的电容传感系统的带宽超过20 kHz，非常适合高速应用，例如：

　·主轴跳动分析

　·压电反馈定位

　·超声波喇叭振动

　·应力分析

　3、厚度测量

　厚度质量控制监测最好在制造过程中在线应用，而不是在产品制造后进行定期抽样。通过这种方式，可以“即时”进行流程调整，减少或消除不符合规格的产品的生产。在某些应用中，可以使用接触方法，但是它们速度慢，会损坏产品并且容易磨损。非接触式传感器通常用于这些应用。

　典型应用由两个电容探头组成，一个位于被测材料的两侧。每个传感器输出之间的差异与被测材料的厚度直接相关。通过进行差分测量，可以消除探针间隙内材料的任何位置移动。

　使用电容探头的典型厚度测量

　这是典型的厚度设置，A和B代表传感器输出。探针之间的间隙G等于A+B+T。如果将已知厚度T的初始样品放置在间隙内，则可以确定G并将其用于将来的计算。由于厚度=G–(A+B)，并且G是常数，因此可以通过简单地减去两个输出来计算厚度。

　如果被测材料的背面可以参考某个固定平面，也可以使用电容传感器成功进行单面厚度测量。产品厚度与探头与材料表面之间的间隙成正比。

　典型的厚度应用包括：

　·半导体晶圆

　·计算机磁盘驱动器磁盘

　·刹车盘

　·钣金

　·光伏晶片